In this paper, tungsten carbide (WC) blades were covered with TiAlN thin films by reactive magnetron sputtering. The achieved improvement was the use of a mosaic target (Ti-Al) with a special design. Surface images were obtained with SEM. GIXRD showed that the structure was metastable (wurtize) and with EDS a low amount of Ti was detected in film composition. Finally, under scratch tests a good TiAlN adherence performance was determined, because of the fracture dissipation under this four-stage deposition procedure.

En este trabajo se depositó un recubrimiento de TiAlN sobre cuchillas de carburo de tungsteno (WC), mediante sputtering por magnetrón en modo reactivo. La novedad es el uso de un blanco mosaico (Ti-Al) diseñado especialmente para el caso. Imágenes de la superficie fueron tomadas mediante SEM. Se dedujo mediante los análisis con GIXRD que la estructura era la metaestable de würtzita y con EDS se apreció un déficit de Ti en la composición. Finalmente, mediante la técnica de rayado se determinó el alto nivel de adherencia de la capa de TiAlN, debido a la disipación de fracturas al haber depositado la capa en cuatro etapas.

Aluminum nitride is a ceramic compound with many technological applications in several fields: optics, electronics and resonators. AlN performance is highly dependent on experimental conditions during film deposition. This paper focuses on the effect of working pressure on residual stress development. Thus, AlN thin films have been deposited with reactive DC magnetron sputtering technique under different working pressures (3-6 mTorr) on Si (100) substrates. These samples were characterized by XRD (X-Ray Diffraction), HRTEM (High Resolution Transmission Electron Microscopy) and SAED (Selected Area Electron Diffraction) techniques. Results show that residual stress is dependent on film thickness: compressive at low thicknesses, tensile at high thicknesses. Moreover, residual stress changes with the working pressure and at high pressures this stress is reduced, hampering the (00·2) texture development, crucial in technological applications.

El nitruro de aluminio es un compuesto cerámico con multitud de aplicaciones tecnológicas en muchos campos, tales como la óptica, la electrónica y los dispositivos resonadores. La eficiencia del AlN es altamente dependiente de las condiciones experimentales de deposición. En este artículo se analiza el efecto de la presión de trabajo en el desarrollo de tensiones residuales en su estructura. Para ello, se depositaron películas delgadas de AlN mediante sputtering por magnetrón DC en modo reactivo con presión de trabajo variable (3-6 mTorr) sobre Si (100). Estas muestras se caracterizaron mediante medición de curvatura de la muestra, XRD (Difracción de Rayos X), HRTEM (Microscopía Electrónica de Transmisión de Alta Resolución) y SAED (Difracción de Electrones en Área Seleccionada). Los resultados muestran que la tensión residual depende del espesor de la película: compresiva a bajos valores, de tracción a altos valores. Además, la tensión residual es dependiente de la presión de trabajo, luego a más presión menos tensión residual, inhibiendo el desarrollo de la textura en el plano (00·2), vital para las aplicaciones tecnológicas.

In this work, the influence of lumped parameters on the normal oscillation modes of mechanical systems are studied theoretically. In particular, we study the vibration modes of a dipole antenna with concentrated inductances and a tube with an expansion chamber inserted in its middle point. It is found that these problems have close similarities with the transverse modes of a homogeneous string fixed at both ends and loaded with one mass at its middle point.

En este trabajo se estudia la influencia de parámetros concentrados sobre los modos normales de oscilación de un medio continuo de dimensiones finitas. En particular, se estudian las vibraciones de una antena dipolo corta con una inductancia concentrada y los modos acústicos en un tubo con una cámara de expansión en su punto medio. Se encuentra que estos problemas presentan una gran similitud con los modos transversales de una cuerda homogénea, fija en sus dos extremos y cargada con una masa en su punto medio.